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一种蓝宝石衬底化学机械抛光浆液

2010年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
本发明提供一种用于蓝宝石衬底的化学机械抛光浆液，此浆液包含pH调节剂、表面活性剂、水性介质及一种复合研磨粒子。该复合研磨粒子是由基材粒子碳化硼表面包覆一层粒子所构成。通过本发明提供的化学机械抛光浆液，蓝宝石的表面质量和加工效率得到了有效的提高。...
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